Спосіб визначення шорсткості поверхні і глибини порушень кристалоструктури механічно оброблених пластин кремнію

Автор(и): 
Жарких Ю.С., Лисоченко С.В., Третяк О.В., Єременко В.О., Примаченко І.А., Карплюк А.І.
Публікація: 
Патент України № 92239, Бюлетень №19, 11.10.2010.
Рік: 
2010
Країна: 
UKR
Підрозділ: 
НДЧ
ІНСТИТУТ ВИСОКИХ ТЕХНОЛОГІЙ Матеріали дозволено використовувати на умовах GNU FDL без незмінюваних секцій та Creative Commons Attribution/Share-Alike
Дизайн: Інститут високих технологій
Ivan Ivanov