Электропроводность пленок SiOx и SiO2(Si) полученных методом LP CVD

Назва конференції: 
V-а Українська наукова конференція з фізики напівпровідників
Назва конференції (тільки ім'я): 
Українська наукова конференція з фізики напівпровідників
Номер конференції: 
V
Країна: 
Україна
Місто: 
Ужгород
Сторінки: 
-
Кількість сторінок: 
0
Вихідні данні тез: 
Электропроводность пленок SiOx и SiO2(Si) полученных методом LP CVD // Мат. V Української наук. конф. з фізики напівпровідників, Ужгород
Рік: 
2011
Автор(и): 
А.Ю. Кизяк, А.А. Евтух, Ю.Н. Педченко, О.Л. Братусь.
Мова: 
Російська
Назва підрозділу: 
Кафедра нанофізики конденсованих середовищ
ІНСТИТУТ ВИСОКИХ ТЕХНОЛОГІЙ Матеріали дозволено використовувати на умовах GNU FDL без незмінюваних секцій та Creative Commons Attribution/Share-Alike
Дизайн: Інститут високих технологій
Ivan Ivanov